限流孔
【Orifice】
Orifice是一种最简单、直接且可靠的流量控制单元。
当Orifice的下游压力与上游压力之比小于 0.528 时，通过小孔处的流量为恒定值。一般使用时，需要在上游使用HEPA过滤器保护，下游的真空源需要能满足达到极限条件所需的真空度。
特性：
►材质：SS316、黄铜、尼龙
►外径：1/4英寸
►最小流量：0.1 sLPM
在一些特殊的场合，当所需流量很大时，如流量为10LPM，此时对于下游泵的能力要求就很高，需要在保证泵的真空度在（1-0.528）atm以上的同时保证10LPM的抽吸能力。如果不是很确定是否可以满足需求，可以查看使用的泵的压力流量曲线。
对于大流量的场合，也可选择使用本公司的低压差限流孔。