限流孔
【Orifice】

Orifice是一种最简单、直接且可靠的流量控制单元。
当Orifice的下游压力与上游压力之比小于 0.528 时,通过小孔处的流量为恒定值。一般使用时,需要在上游使用HEPA过滤器保护,下游的真空源需要能满足达到极限条件所需的真空度。
特性:
►材质:SS316、黄铜、尼龙
►外径:1/4英寸
►最小流量:0.1 sLPM
在一些特殊的场合,当所需流量很大时,如流量为10LPM,此时对于下游泵的能力要求就很高,需要在保证泵的真空度在(1-0.528)atm以上的同时保证10LPM的抽吸能力。如果不是很确定是否可以满足需求,可以查看使用的泵的压力流量曲线。
对于大流量的场合,也可选择使用本公司的低压差限流孔。